搖擺中走絲，這種結(jié)構(gòu)不僅可以作為真空絕對壓力傳感器實現(xiàn)對真空環(huán)境的壓力監(jiān)控，還可以作為微差壓傳感器。硅可動極板與下層玻璃間的電容Cd用于檢測壓力變化。

搖擺中走絲，當(dāng)Cd變化時，其變化信號通過電容/電壓轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)化成電壓變化信號，然后電壓變化信號通過放大器變成伺服電壓VS，VS反饋到伺服電極上，對可動極板產(chǎn)生一個和原始變形方向相反的靜電力FS，使薄膜回到初始位置，這樣就實現(xiàn)了伺服效果，增大了器件的動態(tài)工作范圍。同時，當(dāng)壓力過大時，可動極板會碰到下層玻璃完成過載保護。

搖擺中走絲，在TRANSDUCERS’11會議上，Evigia Systems公司提出了一種全新結(jié)構(gòu)的MEMS電容式壓力傳感器來同時獲得高靈敏度和大動態(tài)范圍。研究人員將壓敏元件和電容的可動極板進行了去耦操作，即增加一個力敏薄膜來感知外界壓力變化，然后將壓敏薄膜通過一個中心軸與平行板電容式器的可動極板進行機械耦合從而實現(xiàn)小量程壓力測量。