精密中走絲，在臨床醫(yī)療過程中，實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)人體各種壓力指標(biāo)的變化能對(duì)診斷和治療起到非常積極的作用。這些被測(cè)壓力都比較小，青光眼的眼壓范圍在10～100 kPa之間，人類與外部接觸所產(chǎn)生的壓力大約在0～220 kPa之間。除此之外，傳感器還需要植入生物體中，所以體積要微小并能進(jìn)行非接觸式測(cè)量。因此，小量程MEMS壓力傳感器應(yīng)用前景廣泛，對(duì)其研究具有重要意義。

精密中走絲，由于作用壓力小，靈敏度成為了制約小量程MEMS壓力傳感器發(fā)展和應(yīng)用的難點(diǎn)。通常，靈敏度的提高會(huì)導(dǎo)致線性度的降低，反之亦然。要成功研制出小量程壓力傳感器，必須首先解決小量程高靈敏度輸出與超薄力敏膜片大撓度引起的非線性誤差之間的矛盾。

精密中走絲，MEMS壓力傳感器多種多樣，與其他類型的傳感器相比，電容式壓力傳感器不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、靈敏度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性好、溫度漂移小，而且能夠進(jìn)行非接觸式的無線無源測(cè)量。